電子氣體是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。

半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室等制造、科研產(chǎn)業(yè)對(duì)潔凈度的要求愈發(fā)嚴(yán)格，對(duì)氣源及氣體管路的檢測(cè)規(guī)格有了更高的要求。

氣體中的氧、水、總烴等雜質(zhì)，在生產(chǎn)過程中可能會(huì)以原子形態(tài)進(jìn)入芯片結(jié)構(gòu)中去，影響芯片質(zhì)量。

H2O和晶片中的Si會(huì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，生產(chǎn)二氧化硅，影響晶片厚度，因此對(duì)氣體中的水分含量必須加以控制。

半導(dǎo)體行業(yè)氣體中的露點(diǎn)測(cè)量是一個(gè)挑戰(zhàn)，以99.9999%的高純氮?dú)鉃槔?，其水分含量低?ppm，也就是100萬個(gè)氣體分子中， 不到1個(gè)水分子。如此微量的水分子含量， 對(duì)Moisture濕度傳感器的靈敏度和準(zhǔn)確性都是一個(gè)真正的考驗(yàn)。在過往，高精度的水分儀往往伴隨著高成本，而隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開發(fā)，在精度和價(jià)格上的選擇不再是魚和熊掌不能兼得的困境。

可以測(cè)量低至 -120 °Cdp，在-60°Cdp時(shí)精度為±1°C，對(duì)過程環(huán)境的變化可以快速響應(yīng)。

金屬氧化物陶瓷濕度傳感器技術(shù)，借鑒半導(dǎo)體領(lǐng)域的厚薄膜技術(shù)，把整個(gè)傳感器構(gòu)建在堅(jiān)固穩(wěn)定的陶瓷基座上?；诙嗫赘袧駥訉?duì)水分子的吸收，通過感受水氣分壓得出（工況下）水露點(diǎn)值。該吸濕活性層如同“三明治”一樣被夾在陶瓷基底上的兩個(gè)導(dǎo)電層之間，厚度僅不到一微米，而頂部金箔層只允許水分子自由進(jìn)入傳感器，且與多孔導(dǎo)電層相比更薄。因此，當(dāng)周圍環(huán)境的濕度發(fā)生變化的時(shí)候，傳感器對(duì)濕度變化會(huì)有非常靈敏的反應(yīng)。它能夠檢測(cè)超高純度氣體中低至百萬分之幾的Moisture微量水分含量。

水分的測(cè)試是利用純度較高的N2對(duì)待側(cè)管路進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的Purge（清除，吹掃），將水氣帶離管路，并在一端接上分析儀器，直至儀器顯示的含水量濃度達(dá)到測(cè)算標(biāo)準(zhǔn)。

壓縮空氣檢測(cè)儀 Moisture水含量檢測(cè)步驟：

（1）先將待測(cè)管路預(yù)吹4小時(shí)以上（預(yù)吹時(shí)間越長(zhǎng)，測(cè)試時(shí)間越短）；

（2）將待測(cè)管路銜接至測(cè)試儀；

（3）打開電源，開始測(cè)試，直至讀數(shù)下降到50ppb以下。